<code id="n7k00"></code>
  • <code id="n7k00"><small id="n7k00"></small></code><pre id="n7k00"><nobr id="n7k00"></nobr></pre>
  • 
    
    <strike id="n7k00"></strike>
    <pre id="n7k00"><small id="n7k00"><p id="n7k00"></p></small></pre>
    <tr id="n7k00"></tr>
    <big id="n7k00"><em id="n7k00"><track id="n7k00"></track></em></big>
    <object id="n7k00"><sup id="n7k00"><mark id="n7k00"></mark></sup></object><center id="n7k00"></center><center id="n7k00"><small id="n7k00"></small></center>

    <th id="n7k00"></th>
    语言选择: 中文版 ∷  英文版

    薄膜半导体材料制备系统

    • 磁控溅射仪
    磁控溅射仪

    磁控溅射仪


    磁控溅射仪

    衬底尺寸:4'为主,6'兼容。

    溅射金属膜厚均匀性要求:≤±5%

    靶位:4个。

    极限压力:<6.6×10-6e Pa

    靶材尺寸:3英寸。

    可溅射磁性材料。

    靶与样品距离可调,且可以在30度角度内摆头。

    配置load-lock,可放置56英寸样品,在高真空状态下,由电动马达分别传送每片样品,顺序溅射每片样品,逐一完成5片溅射镀膜。

    样品台可加热至750度,可旋转。

    全自动真空度控制模块。

    气路:ArO2N2

    射频电源:2个,每个600W

    直流电源:2个,每个1000W


    今日彩票 海兴县| 鱼台县| 瓮安县| 武义县| 江津市| 金坛市| 嘉黎县| 宜兰县| 塔城市| 杭州市| 三明市| 兰坪| 建阳市| 双峰县| 大田县| 长宁县| 沽源县| 于都县| 神木县| 潢川县| 綦江县| 隆德县| 印江| 西藏| 文登市| 道孚县| 克什克腾旗| 新昌县| 河东区| 文水县| 揭西县| 三亚市| 滁州市| 无极县| 江源县| 资阳市| 三河市| 平邑县| 沅陵县| 浠水县| 东光县|